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Morphology evolution of the aluminum surface in a fluorine-containing environment

形态学（生物学） 氟 蚀刻（微加工） 铝 材料科学 化学工程 纳米技术 化学 结晶学 冶金 工程类 地质学 图层（电子） 古生物学
作者
Pengqi Hai,Chao Wu,Xiangdong Ding,Yuanjie Li
出处
期刊：Physical Chemistry Chemical Physics [Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：25 (31): 21045-21053
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3cp02397d
摘要
The interaction between aluminum (Al) and F and O atoms is essential to understand the etching process of Al and alumina (Al 2 O 3 ) by fluorine-containing gases.
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