SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
E-beam metrology and defect inspection study of thin photoresist using ASML’s eP5
光刻胶
计量学
材料科学
光电子学
光学
计算机科学
物理
纳米技术
图层(电子)
作者
Mahmudul Hasan,
Willem van Mierlo,
J. Hsia,
Natalia Davydova,
Andreas Frommhold,
Christophe Béral,
Anne-Laure Charley,
Matteo Beggiato
标识
DOI:10.1117/12.3010445
求助该文献
最长约 10秒,即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起,本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
论文查重
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M
(2024-4-1)
更新
新增期刊收藏功能
(2024-03-23)
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
桐桐
上传了
应助文件
刚刚
天才蚂蚁
完成签到,获得积分
10
刚刚
山林和水秀
发布了新的
文献求助
10
1秒前
研友_VZG7GZ
上传了
应助文件
1秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
2秒前
受伤的小松鼠
完成签到,获得积分
10
2秒前
HQ
完成签到,获得积分
10
2秒前
爱听歌的灵竹
发布了新的
文献求助
10
2秒前
神内小大夫
发布了新的
文献求助
10
3秒前
Lucky几何米开
发布了新的
文献求助
10
4秒前
lesen
完成签到,获得积分
10
4秒前
跳跃毒娘
完成签到,获得积分
10
5秒前
xm
关闭了
xm
的
文献求助
5秒前
科研茶
发布了新的
文献求助
10
6秒前
wjx
发布了新的
文献求助
10
7秒前
思源
的
应助
被
279278
采纳,获得
10
7秒前
冰糖葫芦娃
发布了新的
文献求助
50
7秒前
jazmin666
发布了新的
文献求助
10
8秒前
受伤的小松鼠
发布了新的
文献求助
10
9秒前
CipherSage
的
应助
被
vvv
采纳,获得
10
10秒前
Lucas
上传了
应助文件
10秒前
JamesPei
上传了
应助文件
11秒前
今后
上传了
应助文件
12秒前
小二郎
上传了
应助文件
12秒前
乐乐
的
应助
被
好咯怪你咯
采纳,获得
10
13秒前
mov
完成签到,获得积分
10
14秒前
smottom
的
应助
被
龙王使
采纳,获得
30
14秒前
CodeCraft
的
应助
被
神内小大夫
采纳,获得
10
14秒前
重要的小蝴蝶
发布了新的
文献求助
10
15秒前
小马甲
的
应助
被
迷路的豌豆
采纳,获得
30
15秒前
NexusExplorer
上传了
应助文件
15秒前
JamesPei
上传了
应助文件
16秒前
爱听歌的灵竹
完成签到,获得积分
10
16秒前
李健的小迷弟
上传了
应助文件
16秒前
Akim
的
应助
被
科研茶
采纳,获得
10
16秒前
张雨
发布了新的
文献求助
10
17秒前
逄哈哈哈哈
发布了新的
文献求助
10
17秒前
Orange
的
应助
被
肥嘟嘟左卫门
采纳,获得
10
17秒前
11
完成签到,获得积分
10
17秒前
Jayway
发布了新的
文献求助
10
17秒前
高分求助中
【本贴是提醒信息,请勿应助】请在求助之前详细阅读求助说明!!!!
20000
One Man Talking: Selected Essays of Shao Xunmei, 1929–1939
1000
The Three Stars Each: The Astrolabes and Related Texts
900
Yuwu Song, Biographical Dictionary of the People's Republic of China
800
Multifunctional Agriculture, A New Paradigm for European Agriculture and Rural Development
600
Challenges, Strategies, and Resiliency in Disaster and Risk Management
500
Bernd Ziesemer - Maos deutscher Topagent: Wie China die Bundesrepublik eroberte
500
热门求助领域
(近24小时)
化学
材料科学
医学
生物
有机化学
工程类
生物化学
纳米技术
物理
内科学
计算机科学
化学工程
复合材料
遗传学
基因
物理化学
催化作用
电极
光电子学
量子力学
热门帖子
关注
科研通微信公众号,转发送积分
2481403
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助?
2144128
关于积分的说明
5468461
捐赠科研通
1866532
什么是DOI,文献DOI怎么找?
927668
版权声明
563032
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明
496371
今日热心研友
Hao
239
1650
一条淡水鱼
201
1700
酸化土壤改良
92
2580
OCDer
3300
Maestro_S
179
1430
zzz4743
85
2029
坚强的广山
106
1610
个性的紫菜
138
1220
丹霞
141
940
SOLOMON
86
1390
shinysparrow
38
1790
gjww
100
1070
smottom
108
760
天才小能喵
100
700
阿大呆呆
37
1290
寻寻觅觅呢
1530
飞翔的霸天哥
61
860
热切菩萨
64
800
lalala
77
490
寻道图强
1180
注:热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10