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Measurement and calibration of substrate surface temperature in hot filament chemical vapor deposition

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作者

Yu Qiao,Weihan Li,Shifei Chen,Xinchang Wang

出处

期刊：Measurement [Elsevier BV]
日期：2022-11-08 卷期号：205: 112147-112147 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.measurement.2022.112147

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