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On the effect of self-sustained periodic flows on film thickness non-uniformity during CVD

层流 沉积（地质） 薄脆饼 机械 材料科学 流量（数学） 硅 化学气相沉积 瞬态（计算机编程） 动量（技术分析） 过程（计算） 纳米技术 物理 光电子学 计算机科学 地质学 古生物学 财务 沉积物 经济 操作系统
作者
Michail E. Kavousanakis,Nikolaos Cheimarios,George Kokkoris,Andreas G. Boudouvis
出处
期刊：Computers & Chemical Engineering [Elsevier BV]
日期：2022-03-18 卷期号：161: 107775-107775 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.compchemeng.2022.107775
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