材料科学
电介质
热导率
光电子学
溅射沉积
氮化硼
薄膜
半导体
溅射
复合材料
纳米技术
作者
Min Zhu,Yong Shao,Yangmei Xin,Dan Yang,Xiaoqiang Lu,Haizhong Zhang
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier BV]
日期:2024-04-15
卷期号:225: 113207-113207
被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2024.113207
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI