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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication
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制作
物理
医学
量子力学
病理
替代医学
作者
P. Rai‐Choudhury
出处
期刊：SPIE eBooks
[SPIE]
日期：1997-10-06
被引量：34
标识
DOI：10.1117/3.2265071
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