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基于MOCVD再生长n+ GaN 欧姆接触工艺f T /f max ＞150/210 GHz的AlGaN/GaN HFETs器件研究

金属有机气相外延 材料科学 光电子学 氮化镓 宽禁带半导体 图层（电子） 纳米技术 外延
作者
吕元杰,Feng Hong,宋旭波,张志荣,谭鑫,郭红雨,房玉龙,周幸叶,蔡树军,Lv Yuanjie,Feng Zhihong,Song Xubo,Zhirong Zhang,Xin Tan,Hongyu Guo,Fang Yulong,Zhou Xing-Ye,Cai Shujun
出处
期刊：红外与毫米波学报 日期：2016-10-05 卷期号：35 (5): 534-538
链接
ac.cndoi.org
标识
DOI：10.11972/j.issn.1001-9014.2016.05.005
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