A Real-Time Automatic Structural-Loss Detection and Stopping Rule of Semiconductor Single-Crystal-Silicon-Growth <100> and <111>

半导体 半导体器件制造 半导体材料 半导体器件 单晶 材料科学 光电子学 电子工程 计算机科学 工程类 化学 纳米技术 结晶学 薄脆饼 图层(电子)
作者
Wheyming Tina Song,Yu-Fan Liao
出处
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [IEEE Computer Society]
卷期号:37 (3): 304-315
标识
DOI:10.1109/tsm.2024.3421926

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