THE EFFECT OF THERMAL OXIDATION ON THE PHOTORESPONSE PROPERTIES OF PbSe PHOTODETECTORS

光电探测器 材料科学 薄膜 敏化 光电导性 光电子学 暗电流 热氧化 溅射 红外线的 光学 纳米技术 物理 免疫学 生物
作者
JINHAO DING,YIJI SONG,Ding Ding
出处
期刊:Surface Review and Letters [World Scientific]
卷期号:30 (08)
标识
DOI:10.1142/s0218625x23500518
摘要

In this study, thin PbSe films were deposited on the Si(100) by ion beam sputtering aiming at forming photoconductive infrared detectors. PbSe photodetectors are then gained through thermal oxidation over different temperatures for sensitization. The effect of oxygen sensitization on the morphology, composition and structure of PbSe photodetectors is studied. It was found that during the sensitization, the PbSe thin film grains gradually refine the melting junction due to oxidation and recrystallization. The proportion of the film surface O/(PbSe) atoms increased significantly, while the Se/Pb atoms greatly decreased due to the increased gasification of SeO 2 . The noise signal for sensitized PbSe films decreased and the detection rates were improved. The sensitization process designed in this paper helps to improve the photoresponse function of PbSe films.
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