等离子体增强化学气相沉积
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作者
Leonid Mochalov,Alexander Logunov,I. O. Prokhorov,M. A. Vshivtsev,Mikhail Kudryashov,Yulia Kudryashova,В. М. Малышев,Yu. M. Spivak,E. D. Greshnyakov,A. V. Knyazev,Diana G. Fukina,P. A. Yunin,В. А. Мошников
标识
DOI:10.1007/s11082-022-03979-z
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