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Examining the microstructure, morphological features, and wetting characteristics of Ti/TiN/TiAlN thin films produced through RF/DC magnetron co-sputtering

材料科学 微观结构 锡 溅射沉积 薄膜 润湿 溅射 扫描电子显微镜 复合材料 脉冲直流 接触角 冶金 纳米技术
作者
Hichem Benzouid,Said Boudebane,Hana Ferkous,Fouaz Lekoui,Nafarizal Nayan,Amel Delimi,Maha Awjan Alreshidi,Muhammad Arshad,Krishna Kumar Yadav,Barbara Ernst,Noureddine Elboughdiri,Yacine Benguerba
出处
期刊：Materials today communications [Elsevier BV]
日期：2023-10-27 卷期号：37: 107405-107405 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.mtcomm.2023.107405
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