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Suppression of Degradation in SiC Power Devices by Defect Engineering Using High-energy Ion Implantation

降级（电信）材料科学离子注入工程物理功率（物理）离子功率半导体器件可靠性工程核工程电气工程光电子学电子工程工程类化学物理电压热力学有机化学

作者

Shunta Harada,Hitoshi Sakane,Masashi Kato

出处

期刊：Materia [The Japan Institute of Metals]
日期：2025-06-30 卷期号：64 (7): 455-460

标识

DOI：10.2320/materia.64.455

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