Investigation of Au/Ti/Al ohmic contact to N-type 4H–SiC

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作者
Shu-Cheng Chang,Shui-Jinn Wang,Kai-Ming Uang,Bor-Wen Liou
出处
期刊:Solid-state Electronics [Elsevier BV]
卷期号:49 (12): 1937-1941 被引量:36
标识
DOI:10.1016/j.sse.2005.08.013
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