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Low Voltage a-IGZO Thin Film Transistor Using Tantalum Oxide by Thermal Oxidation

材料科学钽热氧化薄膜晶体管氧化物光电子学晶体管热的电压冶金纳米技术电气工程图层（电子）物理工程类气象学

作者

Eun Seong Yu,Seung Gyun Kim,Seo Jin Kang,Hyuk Su Lee,Jong Mo Lee,Seung-Jae Moon,Byung Seong Bae

出处

期刊：Electronic Materials Letters [Springer Science+Business Media]
日期：2023-04-19 卷期号：20 (2): 102-110 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s13391-023-00431-6

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