Atomic layer etching of high-k oxide thin films using hexafluoroacetylacetone and oxygen radicals

蚀刻(微加工) 激进的 图层(电子) 原子氧 氧化物 氧气 薄膜 原子层沉积 材料科学 化学工程 无机化学 化学 氧原子 纳米技术 有机化学 分子 工程类
作者
Jeongbin Lee,Jieun Oh,Jung‐Tae Kim,Jiwoo Oh,Jeong‐Min Lee,Woo‐Hee Kim
出处
期刊:Chemical Engineering Journal [Elsevier BV]
卷期号:: 163280-163280
标识
DOI:10.1016/j.cej.2025.163280
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