材料科学
兴奋剂
氧化物
镧
等效氧化层厚度
氧化镧
退火(玻璃)
栅极电介质
电介质
铝
铝酸盐
栅氧化层
高-κ电介质
化学工程
无机化学
光电子学
复合材料
冶金
化学
电气工程
晶体管
电压
水泥
工程类
作者
Hei Wong,Bing Yang,Kuniyuki Kakushima,Parhat Ahmet,Hiroshi Iwai
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier BV]
日期:2011-07-25
卷期号:86 (7): 929-932
被引量:20
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2011.06.023
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI