Continuous roller transfer-printing and automated metrology of >75,000 micro-LED pixels in a single shot

计量学 像素 材料科学 光学 转印 传输(计算) 过程(计算) 单发 计算机科学 物理 并行计算 复合材料 操作系统
作者
Eleni Margariti,Gemma Quinn,Dimitars Jevtics,Benoit Guilhabert,Martin D. Dawson,Michael J. Strain
出处
期刊:Optical Materials Express [Optica Publishing Group]
卷期号:13 (8): 2236-2236 被引量:8
标识
DOI:10.1364/ome.483657
摘要

A continuous, single shot roller transfer printing process is presented for the large-scale hybrid integration of semiconductor devices. Transfer of a 320 × 240 pixel micro-LED array, representing >75,000 individual devices in a single shot with sub-micron relative position accuracy is demonstrated. The transfer printing process preserves the array geometry with pixel spatial location error less than 1 µm deviation from the as-designed layout. An automated sub-micron precision metrology system based on simple optical microscopy was developed to asses such large device populations and allow the assessment of yield.
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