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The Effect of Physical Property Parameters of the Insulation Material Inside the Heat Shield on the Growth of Czochralski Silicon Crystal

材料科学 护盾 Crystal（编程语言） 复合材料 硅 财产（哲学） 直拉法 法律工程学 工程物理 光电子学 工程类 地质学 岩石学 程序设计语言 哲学 认识论 计算机科学
作者
Rongrong Hu,Xuekang Lv,Jiacheng Li,Salamat Ali,Jing Qi
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2023-11-28 卷期号：16 (4): 1559-1567 被引量：6
标识
DOI：10.1007/s12633-023-02778-9
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