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The influence of lightly doped p-GaN cap layer on p-GaN/AlGaN/GaN HEMT

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作者
Kai Liu,Runhao Wang,Chong Wang,Xuefeng Zheng,Xiaohua Ma,Junchun Bai,Bin Cheng,Ruiyu Liu,Ang Li,Yaopeng Zhao,Yue Hao
出处
期刊:Semiconductor Science and Technology [IOP Publishing]
卷期号:37 (7): 075005-075005 被引量:15
标识
DOI:10.1088/1361-6641/ac643f
摘要

Abstract In this paper, the influence of a lightly doped p-GaN (p − -GaN) cap layer on p-GaN/AlGaN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) (LDP-HEMTs) was investigated. No difference in output or off-state breakdown characteristics was observed, but there was a negative shift in threshold voltage ( V TH ). The gate leakage ( V GS = 7 V) dropped by three orders of magnitude, and the gate forward breakdown voltage and continuous operating voltage increased by 6.5 V and 2.5 V, respectively. It is worth noting that the gate characteristics are significantly optimized, which is ascribed to the employment of the p − -GaN cap layer. The simulations illustrate that the electric field is dispersed, and the electric peak is alleviated by the p − -GaN cap layer, thus suppressing the impact ionization and carrier injection in the high electric field. Furthermore, there is a negligible effect on the temperature reliability of V TH based on the temperature-dependent characteristics in LDP-HEMTs. However, the temperature stability of the gate current ( V GS = 7 V) will worsen in LDP-HEMTs due to the difference in the conduction mechanism, compared with conventional p-GaN HEMTs.

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