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作者
M. Hemanadhan,Ch. Bapanayya,S. C. Agarwal
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology
[American Institute of Physics]
日期:2010-06-24
卷期号:28 (4): 625-626
被引量:13
摘要
A simple and compact arrangement for flash evaporation is described. It uses a cell phone vibrator for powder dispensing that can be incorporated into a vacuum deposition chamber without any major alterations. The performance of the flash evaporation system is checked by making thin films of the optical memory chalcogenide glass Ge2Sb2Te5 (GST). Energy dispersive x-ray analysis shows that the flash evaporation preserves the stoichiometry in thin films.
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