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Self-terminated etching of GaN with a high selectivity over AlGaN under inductively coupled Cl 2 /N 2 /O 2 plasma with a low-energy ion bombardment

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作者
Yaozong Zhong,Yu Zhou,Hongwei Gao,Shujun Dai,Junlei He,Meixin Feng,Qian Sun,Jijun Zhang,Yanfei Zhao,An Dingsun,Hui Yang
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2017-06-01 卷期号：420: 817-824 被引量：42
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2017.05.185
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