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Evaluation of performance and reliability of TFT devices with ultra-thin HfTiO dielectric layer deposited by plasma enhanced atomic layer deposition

原子层沉积 图层（电子） 材料科学 薄膜晶体管 可靠性（半导体） 等离子体 光电子学 电介质 沉积（地质） 逐层 纳米技术 物理 生物 量子力学 古生物学 功率（物理） 沉积物
作者
Wenzhi Zhang,Xiaoying Zhang,Zhi-Xuan Zhang,Yun-Shao Cho,Chien-Jung Huang,Peng Gao,L. Jiang,Yu Qiu,Shui‐Yang Lien
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2025-01-14 卷期号：497: 131782-131782
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.131782
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