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A Study on the Process of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of (AlxGa1 – x)2O3 Thin Films

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作者

Leonid Mochalov,Mikhail Kudryashov,I. O. Prokhorov,M. A. Vshivtsev,Yu. P. Kudryashova,A. V. Knyazev

出处

期刊：High Energy Chemistry [Pleiades Publishing]
日期：2023-09-29 卷期号：57 (5): 430-435 被引量：1

标识

DOI：10.1134/s0018143923050065

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