Growth of bulk 0.1 eV InAsSb on GaAs substrate with InAs-based intermediate buffer layer

材料科学 分子束外延 光电子学 基质(水族馆) 外延 图层(电子) 位错 带隙 砷化镓 纳米技术 海洋学 地质学 复合材料
作者
Seungwan Woo,Eungbeom Yeon,Ho Won Jang,Daehwan Jung,Won Jun Choi
标识
DOI:10.1117/12.2676674
摘要

We demonstrate the metamorphic growth of InAs1-xSbx (x = 0.08 – 0.68) layers on GaAs substrate with an optimized InAs-based intermediate buffer layer by molecular beam epitaxy. The broad range of group-V flux ratio is applied to investigate the effect between Sb incorporation and material quality. We find that high Sb compositions significantly roughen surface morphology, and that optimized growth temperature is crucial to prevent phase separation and surface segregation of Sb atoms. In addition, we achieve a high degree of strain relaxation (~94%) in the metamorphic InAsSb layers even with a 58% Sb composition. This result indicates that our InAs/GaAs virtual substrate is suitable for the growth of an almost fully relaxed InAsSb layer. Also, we investigate a threading dislocation density (TDD) trend with the broad range of Sb compositions, and a drastically increasing TDD trend (> 200 times) was observed. Finally, we report a narrow bandgap of 0.13 eV at 10 K of the InAs0.42Sb0.58 layer, which is promising for the detection of longwavelength infrared radiation. This InAsSb layer on GaAs substrate opens up possibility for mid-wavelength and long-wavelength infrared optoelectronics applications.
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