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1kV Vertical Breakdown Voltage AlGaN/GaN HEMTs on Si with AlN and AlGaN/AlN Superlattice Buffer Engineering

超晶格 材料科学 缓冲器（光纤） 光电子学 宽禁带半导体 击穿电压 电压 电气工程 工程类
作者
You‐Chen Weng,Chin‐Yi Yang,Tsung-Ying Yang,Chin-Han Chung,Tsung-Han Chiang,Fu-Chin Tung,Shih-Hsiang Lai,Hung-Wei Yu,Edward Yi Chang
标识
DOI：10.1109/icse62991.2024.10681378
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