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The effect of SiNx:H stoichiometry on electrical and chemical passivation of Al2O3/SiNx:H stack layer on p-type silicon wafers
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作者
Hasan Hüseyin Canar,
Gence Bektaş,
Ahmet Emin Keçeci,
Hasan Asav,
Sümeyye Koçak Bütüner,
Bülent Arıkan,
Raşit Turan
出处
期刊：Nucleation and Atmospheric Aerosols
日期：2023-01-01
卷期号：2826: 050001-050001
被引量：1
标识
DOI：10.1063/5.0140213
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