Development of a porous patterned membrane with a large field size for EUV pellicles

极紫外光刻 材料科学 多孔性 领域(数学) 纳米技术 光电子学 化学 复合材料 生物化学 数学 纯数学
作者
Tae Joong Ha,Gi-Sung Lee,Haneul Kim,Jung-Yeon Kim,Jinho Ahn
标识
DOI:10.1117/12.3033641
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