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Deposition, stabilization and characterization of zirconium oxide and hafnium oxide thin films for high k gate dielectrics

铪 表征（材料科学） 高-κ电介质 材料科学 锆 沉积（地质） 氧化锆 电介质 氧化物 栅极电介质 薄膜 无机化学 光电子学 化学 纳米技术 冶金 电气工程 地质学 晶体管 古生物学 工程类 电压 沉积物
作者
Yong Gao
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