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Grown-in defects in heavily phosphorus-doped Czochralski silicon

硅兴奋剂材料科学磷直拉法光电子学工程物理冶金物理

作者

Yuheng Zeng,Jiahe Chen,Xiangyang Ma,Zhidan Zeng,Deren Yang

出处

期刊：Physica B-condensed Matter [Elsevier]
日期：2009-08-30 卷期号：404 (23-24): 4619-4621 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.physb.2009.08.139

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