High Performance and Stability of Double-Gate Hf–In–Zn–O Thin-Film Transistors Under Illumination

薄膜晶体管 材料科学 光电子学 晶体管 阈值电压 阈下传导 逻辑门 栅氧化层 双闸门 电压 电气工程 MOSFET 纳米技术 图层(电子) 工程类 冶金
作者
Joon Seok Park,Kyoung Seok Son,Tae Sang Kim,Ji Sim Jung,Kwanghee Lee,W. J. Maeng,Hyun‐Suk Kim,Eok Su Kim,Kyung‐Bae Park,Jong‐Baek Seon,Jang‐Yeon Kwon,Myung Kwan Ryu,Sangyun Lee
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:31 (9): 960-962 被引量:23
标识
DOI:10.1109/led.2010.2051407
摘要

Hafnium indium zinc oxide thin-film transistors (TFTs) with a double-gate structure were evaluated for the first time. Compared with devices with a single bottom gate, TFTs with an additional top gate exhibit improved subthreshold swing, threshold voltage, and field-effect mobility, as well as smaller subthreshold currents upon exposure to visible light. This phenomenon is attributed to the more effective suppression of excess photocurrents by the application of a double-gate structure. Negative-bias stress experiments under illumination indicate that the double-gate TFT exhibits very high stability compared with the device with a single-gate configuration.

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