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Material removal model for chemical–mechanical polishing considering wafer flexibility and edge effects

化学机械平面化材料科学薄脆饼变形（气象学）泥浆复合材料磨料粗糙度（岩土工程）有限元法抛光结构工程纳米技术工程类

作者

Jongwon Seok,Cyriaque P. Sukam,Andrew T. Kim,John Tichy,Timothy S. Cale

出处

期刊：Wear [Elsevier BV]
日期：2004-03-23 卷期号：257 (5-6): 496-508 被引量：30

标识

DOI：10.1016/j.wear.2004.01.011

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