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Metal/Silicon Oxide Hybrid Bonding

金属 硅 氧化物 材料科学 氧化硅 金属键合 纳米技术 冶金 氮化硅
作者
P.M. Enquist
标识
DOI：10.1002/9783527644223.ch13
摘要
This chapter contains sections titled: Introduction Metal/Non-adhesive Hybrid Bonding–Metal DBI® Metal/Silicon Oxide DBI® Metal/Silicon Nitride DBI® Metal/Silicon Oxide DBI® Hybrid Bonding Applications Summary References
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