Effects of off-axis angles of 4H-SiC substrates on properties of β-Ga2O3 films grown by low-pressure chemical vapor deposition

化学气相沉积 材料科学 化学工程 沉积(地质) 蒸汽压 化学 分析化学(期刊) 纳米技术 有机化学 沉积物 生物 工程类 古生物学
作者
Jichao Hu,Xiaodong Yang,Jiaqi Meng,Yao Li,Bei Xu,Qi Zhang,Lei Yuan,Xiaomin He
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:680: 161377-161377 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.161377
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