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Electron Density and Electron Temperature Control with a Magnetic Field and a Grid in Inductively Coupled Argon Plasma

朗缪尔探针 温度电子 原子物理学 电子密度 等离子体 电子 氩 化学 感应耦合等离子体 等离子体参数 电离 等离子体诊断 离子 物理 量子力学 有机化学
作者
Yi He,Wanqin Jin,Yibo Wang,Shaobo Lv,Rui-sheng Wang,Junqi Liu,Haicheng Liu
出处
期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Nature]
日期：2022-10-28 卷期号：43 (1): 381-400 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s11090-022-10295-7
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