A micro-electro-mechanical accelerometer based on gallium nitride on silicon

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作者
Christophe Morelle,D. Théron,Isabelle Roch‐Jeune,Pascal Tilmant,Étienne Okada,F. Vaurette,B. Grimbert,Joff Derluyn,Stefan Degroote,Marianne Germain,M. Faucher
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:122 (3) 被引量:4
标识
DOI:10.1063/5.0127987
摘要

We report on an accelerometer micro-sensor based on epitaxial gallium nitride and silicon. The device is a vibrating beam accelerometer fabricated with a micro-electro-mechanical-system technology starting from an AlGaN/GaN heterostructure grown on silicon. The vibrating GaN beam has integrated high electron mobility transducers, whereas a high aspect ratio proof mass is engineered in the silicon substrate. The sensor response was investigated for several modes and features a scale factor up to 160 Hz/g, with unconventional dependence vs the mode number. To account for this, we propose an analytical model of the accelerometer scale factor that takes into account the built-in stress during epitaxy. This proof-of-concept device opens perspectives for inertial sensors taking advantage of GaN properties.
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