Electrochemical shear-thickening polishing of 4H-SiC (000-1): Factors influencing the anodization process

材料科学 抛光 增稠 阳极氧化 电化学 过程(计算) 冶金 化学机械平面化 纳米技术 复合材料 电极 化学 物理化学 高分子科学 计算机科学 操作系统
作者
Wei Hang,Mingjie Shen,Min Wei,Lingwei Wu,Yuheng Wang,Hongyu Chen,Binghai Lyu,Zhao Jun
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2025.04.242

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