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Study of the topography of silicon surface evolution under irradiation by a gallium ion beam

镓 硅 辐照 材料科学 溅射 离子束 离子 扫描电子显微镜 入射角（光学） 梁（结构） 原子物理学 光学 薄膜 光电子学 化学 纳米技术 复合材料 冶金 物理 核物理学 有机化学
作者
M. A. Smirnova,В. И. Бачурин,M.E. Lebedev,L. A. Mazaletsky,Д. Э. Пухов,А. Б. Чурилов,Alexander Rudy
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2022-06-10 卷期号：203: 111238-111238 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111238
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