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Influence of nitrogen concentration on electrical, mechanical, and structural properties of tantalum nitride thin films prepared via DC magnetron sputtering

氮化钽 钽 材料科学 薄膜 氮化物 粒度 分析化学（期刊） 溅射沉积 微晶 溅射 晶界 复合材料 冶金 纳米技术 微观结构 化学 图层（电子） 色谱法
作者
Davoud Dastan,Ke Shan,Azadeh Jafari,Farzan Gity,Xi-Tao Yin,Zhicheng Shi,Najlaa Alharbi,Bilal Ahmad Reshi,Wenbin Fu,Ştefan Ţălu,Loai Aljerf,Hamid Garmestani,Lida Ansari
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2022-04-16 卷期号：128 (5) 被引量：10
标识
DOI：10.1007/s00339-022-05501-4
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