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Design and experimental research on piezoelectric pump with triple vibrators
作者
Jing Dong,
Wenhua Chen,
Ping Zeng,
Rui Gang Liu,
Chuanliang Shen,
Wei Shuai Liu,
Quan Qu Chen,
Yang Yang,
Yue Wu,
Zhi Gang Yang,
Bai Song Lin
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：2016-07-13
卷期号：23 (8): 3019-3026
被引量：31
标识
DOI：10.1007/s00542-016-3029-6
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