Performance Comparisons of GaN Vertical Transistors with Sidewalls Treated by TMAH and H3PO4 Solutions

材料科学 晶体管 光电子学 宽禁带半导体 纳米技术 电气工程 电压 工程类
作者
Yu-Chuan Chu,C.C. Chang,Zhi-Xiang Zhang,Anuj Chauhan,Yi-Ta Chung,Tien-Yu Wang,Miin-Jang Chen,Wei-Chi Lai,Jian‐Jang Huang
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:45 (10): 1744-1747
标识
DOI:10.1109/led.2024.3448196
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