Comparison of diamond-like carbon films synthesized by 2.45 GHz microwave and 13.56 MHz multi-jet radiofrequency plasma sources

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作者
G. Fedosenko,D. Korzec,A. Schwabedissen,J. Engemann,E. Braca,J. M. Kenny
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:10 (3-7): 920-926 被引量:14
标识
DOI:10.1016/s0925-9635(00)00507-0

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