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Fluorocarbon (C4F8) assisted plasma-enhanced atomic layer etching (PEALE) of SiO2 with high repeatability of cycles in industrial ICP reactor. I. experiment
17小时前
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Living Radical Polymerization of Acrylates Initiated and Controlled by Organocobalt Porphyrin Complexes
17小时前
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Fluorocarbon (C4F8) assisted plasma-enhanced atomic layer etching (PEALE) of SiO2 with high repeatability of cycles in industrial ICP reactor. I. experiment
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