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 Quantification of three-dimensional pattern-shape variation with CD-SEM top-down image 用CD-SEM自顶向下图像量化三维图案形状变化
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期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Mayuka Osaki; Kanji Yasui; Maki Tanaka; Hitoshi Namai; Yosuke Ojima 出版日期：2023-03-01 |
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