标题 |
Experimental measurements of telecentricity errors in high-numerical-aperture extreme ultraviolet mask images
高数值孔径极紫外掩模图像远心误差的实验测量
相关领域
极紫外光刻
极端紫外线
十字线
光学
数值孔径
扫描仪
光圈(计算机存储器)
光刻
材料科学
平版印刷术
镜头(地质)
光掩模
抵抗
光学(聚焦)
空白
航空影像
光学接近校正
计算机科学
物理
光电子学
图像(数学)
薄脆饼
纳米技术
人工智能
声学
图层(电子)
激光器
波长
复合材料
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics 作者:Sudharshanan Raghunathan; O. R. Wood; Pawitter J. S. Mangat; Erik Verduijn; Vicky Philipsen; et al 出版日期:2014-11-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|