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 On the origin and evolution of hotspots in multipatterning processes 多图案化过程中热点的起源与演化
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Prem Panneerchelvam; Chad M. Huard; Trey Graves; Alessandro Vaglio Pret; Roel Gronheid; et al 出版日期：2023-06-06 |
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