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 Critical assessment of the transport of intensity equation as a phase recovery technique in optical lithography 光学光刻中光强输运方程作为相位恢复技术的关键评估
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Aamod Shanker; Martin Sczyrba; Bríd Connolly; Franklin D. Kalk; A. R. Neureuther; et al 出版日期：2014-03-31 |
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