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 Femtosecond Laser Slicing of Single Crystal AlN Layer Grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy on an AlN Substrate Generated by Physical Vapor Transport 物理气相输运AlN衬底上氢化物气相外延AlN单晶层的飞秒激光切片
相关领域
材料科学
切片
外延
飞秒
气相
基质（水族馆）
图层（电子）
氢化物
激光器
光电子学
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光学
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机械工程
金属
海洋学
物理
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工程类
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| 其它 |
期刊：Journal of laser micro nanoengineering 作者： 出版日期：2024-02-01 |
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