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 Surface reconstruction of sapphire at the atomic scale via chemical-physical tuning of atmospheric plasma 基于大气等离子体化学——物理调谐的蓝宝石原子级表面重构
相关领域
蓝宝石
材料科学
等离子体
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
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半导体器件制造
磨料
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光电子学
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