标题 |
Mechanistic modeling study on process optimization and precursor utilization with atmospheric spatial atomic layer deposition
大气空间原子层沉积工艺优化及前驱体利用机理建模研究
相关领域
原子层沉积
沉积(地质)
达克勒数
扩散
化学
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物理
沉积物
生物
燃烧
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Zongquan Deng; Wenjie He; Duan Chen; Rong Chen; Bin Shan 出版日期:2015-10-06 |
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