Mechanical and Tribological Properties of TiAlN Coatings Deposited by HiPIMS with Parameters Optimized Using Taguchi Method

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标题	Mechanical and Tribological Properties of TiAlN Coatings Deposited by HiPIMS with Parameters Optimized Using Taguchi Method 相关领域田口方法材料科学高功率脉冲磁控溅射摩擦学涂层溅射沉积体积流量冶金溅射铝基质（水族馆）沉积（地质）物理气相沉积复合材料偏压直流电腔磁控管电压脉冲（物理）电流（流体）流量（数学）
网址	https://doi.org/10.1007/s11665-026-13608-5
DOI	10.1007/s11665-026-13608-5 doi
其它	期刊：Journal of Materials Engineering and Performance 作者：W. H. Kao; J. C. Nian; Thi-Na Ta 出版日期：2026-03-02
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